无油真空泵是指真空泵腔体内没有任何介质(气、液)与被抽介质混合，如干式螺杆真空泵、干式旋片真空泵、涡旋真空泵、罗茨真空泵、爪式真空泵、活塞式与隔膜式真空泵。无油真空泵也通常叫干式真空泵。

随着工业化学技术的不断革新与发展，对化学流程的清洁要求以及环保排放要求越来迫切。一些老式的真空泵如油式旋片真空泵，滑阀真空泵等，对真空泵油的消耗，油烟的排放，以及对真空工艺介质的污染，使得其越来越跟不上化学工艺的发展，某些生产工艺必须使用一种清洁无污染的真空泵。

干式螺杆真空泵是一种理想的真空泵类型，发展的比较完善，效率高，并且可以做到大抽速的广泛应用，是值得大力推广的真空泵。在一些生产工艺代替油式和液环式真空泵有巨大优势。