干式螺杆真空泵开始在20世纪80年代，最初应用与半导体行业，90年代初期开始应用于化学行业。
它的主要特点如下：

1、对工艺气体无污染

2、没有废水产生

3、没有真空油消耗，不产生油烟排放

4、能够回收被抽介质，冷凝回收各种溶剂

5、能达到更高的真空度

6、维护量及费用低

应用工艺：

1.电工：变压器、互感器、环氧树脂真空浇注、电容器真空浸油、真空压力浸渍。

2.工业炉：真空钎焊、真空烧结、真空退火、真空加压气淬、真空脱羟等。

3.真空镀膜：真空蒸发镀膜、真空磁控溅射镀膜、薄膜卷绕连续镀膜、离子镀等。

4.冶金：特种钢冶炼、真空感应炉、真空脱硫、脱气。

5.航空、航天：航天搭载飞船轨道舱、返回舱、火箭姿态调整舱、宇航服、宇航员太空出舱、飞机升空等真空模似试验。

6.干燥：变压法真空干燥、煤油气箱干燥、木材干燥、蔬菜冷冻干燥。

7.化工、制药：产品蒸馏、干燥、脱气、物料输送等。